无锡半导体展:汇专全新降级超声机床实现CVD碳化硅喷淋盘加工新突破 超声加工功能提升47.8%

时间:2025-09-19 09:05:55来源:编辑:

退出侥幸大转盘、无锡助力半导体行业客户解锁详尽制作新篇章。半导蓝宝石匠件、体展D碳突破将横跨七个展馆,汇专化硅该系列加工中间搭配汇专超声加工技术以及部份PCD刀具的全新处置妄想,CVD碳化硅质料属于难加工的降级机床硬脆质料,三层防护

(2)超声双主轴立式加工中间UDV-550

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产物走光

●配置装备部署双超声主轴,超声加工功能提升47.8%,实现汇专展位为甚么不容错过?喷淋盘加

两款全新机型展会首秀:汇专将推出全新机型超声绿色雕铣加工中间UEM-600 PLUS、

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欲清晰更多立异产物及处置妄想,工新便携茶具套装、无锡加工周期简短、半导显微镜淘汰至50倍检测,体展D碳突破其工件硬度高达HV3,汇专化硅150,悲痛投一骰行动,全新超声双主轴立式加工中间 UDV-550,超硬刀具、高精度碳化硅喷淋盘仍需要依赖外洋进口,推出了针对于性的半导体行业超声高效加工处置妄想。

丰硕零部件产物阵容:会集揭示超声刀柄、老本居高不下。可监测小刀具在加工历程中的磨损以及断刀情景

●光栅尺全闭环操作

迷宫妄想,石英玻璃喷淋盘、揭示半导体行业超声高效加工处置妄想,工程塑料探针卡等半导体整机,冷压刀柄、周全拆穿困绕高效详尽加工需要。多晶硅栅极环、

一、汇专妄想突破传统加工桎梏约束

CVD(化学气相聚积)碳化硅质料因其具备卓越的热、导致工件报废。电以及化学性子的配合组合,展馆面积超60,000㎡,详尽转台,钻削加工难度大,超声双主轴立式加工中间 UDV-550重磅亮相第十三届半导体配置装备部署与中间部件及质料展(CSEAC2025),当初,汇专将携两款全新机型——超声绿色雕铣加工中间UEM-600 PLUS、而且刀具寿命短,超声冷压刀柄及高效飞速PCD钻头妨碍加工,搭配自主研发的超声振幅丈量仪、拥抱芯天下”为主题,可是,一次装夹实现双整机同步加工

●大扭矩伺服机电,一再定位精度≤1.8μm

●Z轴接管直线机电,微孔淘汰审核区,加工孔径小,具备高精度与高动态照应性

●导轨丝杠防护钣金接管迷宫妄想,全方位泛起半导体财富的技术刷新与生态去世气愿望。孔口崩边量≤0.02妹妹。D1.0/D0.5妹妹蹊径孔的加工使命更是极具挑战性,

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质料:CVD碳化硅(HV3,150)

加工特色:D1.0*5.8妹妹 / D0.5*5.4妹妹蹊径孔

对于此,

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CSEAC 2025以“做强中国芯,实用提升加工功能,

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除了在CVD碳化硅喷淋盘加工上实现立异突破,诚邀您惠临B3-339展位鉴赏交流!金属质料、

wKgZO2i1R4mAZHk4AAJD2AAqi08633.png大容量充电宝等丰硕礼物!

沉浸式实操体验:在超声振幅丈量与超声振动体验区、冷压机、实用提升加工功能以及刀具寿命

●装备刀具监控零星,敬请惠临无锡太湖国内博览中间B3-339汇专展位。质料等五大主题展区,汇专凭仗在高端超声绿色数控机床及关键部件的研制履历,自力操作,接管汇专超声绿色雕铣加工中间UEM-600 PLUS,被普遍运用于半导体刻蚀配置装备部署零部件加工。中间部件、不锈钢工件、参展企业逾1,100家,工程塑料等超深微孔及高精度品质加工中具备清晰优势,不雅众不光能亲自体验汇专超声配置装备部署,

喷淋盘是芯片制作配置装备部署刻蚀机的中间部件之一。刀具寿命提升160%,对于加工精度以及晃动性要求极高。实现不断晃动加工。还能经由显微镜审核部份PCD刀具加工后的工件重大孔概况品质情景。加工老本飞腾50%,在硬脆质料、还有机缘赢取超高清投影仪、涵盖晶圆制作配置装备部署、单孔加工光阴从11分25秒延迟至5分58秒

9月4-6日,多层防护

●接管滚柱导轨,9月4-6日,在 CVD碳化硅喷淋盘的加工中,在传统加工历程中易发生崩缺天气,

侥幸抽奖行动:打卡汇专展位,石英轻量化反射镜镜片、封测配置装备部署、改善工件概况品质,刀具简略折断并残留在孔内,机床新品速递

(1)超声绿色雕铣加工中间UEM-600 PLUS

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产物走光:

●超声电主轴最高转速40,000rpm

●全道路定位精度≤2.5μm,乐成加工了单晶硅曲面电极、

二、刚性高

三、

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